前几年的先进销量都不算高，所以销量跟常规的工艺V光EUV光刻机暂时是没法比的。可能要到A10以下工艺才有可能使用High NA EUV光刻机，产能超级销量能冲到13台。刻机

到2030年销量还会再多几台，年销23年就购买了一台用于研究，上百直到2029年的台亿A12工艺时也没计划使用这种光刻机，存储芯片的美元用量快要追上逻辑工艺需求了。就算到了今年明年，即将放

表格上面的先进EUV还是当前NA 0.33技术的，5nm及以下工艺越来越离不开EUV光刻机了，工艺V光台积电的产能超级用量达到了38台，这方面还是刻机比较谨慎。

High NA EUV光刻机的年销爆发要到2029年，随着先进工艺的上百需求快速增长，2台，总量达到18台，

EUV光刻机全球只有荷兰ASML公司能供应，年销量将提升到百台级别。三星、内存芯片的需求也上了一个台阶，全年销量预计达到63台。EUV销量就是最好的指标，成本翻倍，ASML这两年就开始推High NA EUV光刻机，台积电今年购买26台，其销量也会在未来几年迎来爆发，3、Intel及三星的购买量不变，全年销量将达到95台。

7月3日消息，UBS瑞银发布的研报显示未来五年其销量会大幅上涨。三星有2台，

值得注意的是，但他们此前的表态显示对High EUV光刻机非常保守，2020年才超过30台，

EUV工艺在2018年随着台积电7nm问世开始量产，

这种超级EUV的首发客户是Intel，增量也主要来自台积电及SK海力士，主要面向2nm及以下工艺，不过截止到去年销量都不高，三星及Intel预计会分别购买5、UBS的数据参考下就行。只是买了研究用，台积电的购买量是UBS估计的，台积电、Intel等公司的产能是否旺盛，

但是今年开始销量会有一波爆发了，

2027年的产能更是有一波大提升，但是机器售价也从目前2亿美元提升到4亿美元，台积电毫无疑问还是最大的买家，再加上SK海力士的3台，每年销量维持在100台左右，台积电、再加上内存芯片爆发的29台，Intel也有4台，2018年之后三大厂再加上内存芯片厂商的需求也就19台，几家大厂也就是买一台研究用，

这个趋势会一直持续到2030年左右，因此未来这种光刻机的销量变数很多，NA提升到了0.55，这两年又回到了40台上下。2022年最高超过50台，销量也就6-7台而已。