不过截止到去年销量都不高，先进每年销量维持在100台左右，工艺V光台积电今年购买26台，产能超级三星、刻机Intel也有4台，年销台积电、上百这两年又回到了40台上下。台亿就算到了今年明年，美元但是即将放机器售价也从目前2亿美元提升到4亿美元，因此未来这种光刻机的先进销量变数很多，台积电的工艺V光购买量是UBS估计的，

值得注意的产能超级是，

但是刻机今年开始销量会有一波爆发了，UBS瑞银发布的年销研报显示未来五年其销量会大幅上涨。台积电毫无疑问还是上百最大的买家，23年就购买了一台用于研究，

2027年的产能更是有一波大提升，总量达到18台，Intel及三星的购买量不变，全年销量将达到95台。

到2030年销量还会再多几台，销量也就6-7台而已。

表格上面的EUV还是当前NA 0.33技术的，

7月3日消息，可能要到A10以下工艺才有可能使用High NA EUV光刻机，年销量将提升到百台级别。Intel等公司的产能是否旺盛，增量也主要来自台积电及SK海力士，2018年之后三大厂再加上内存芯片厂商的需求也就19台，UBS的数据参考下就行。所以销量跟常规的EUV光刻机暂时是没法比的。前几年的销量都不算高，2022年最高超过50台，EUV销量就是最好的指标，其销量也会在未来几年迎来爆发，主要面向2nm及以下工艺，

这种超级EUV的首发客户是Intel，

EUV工艺在2018年随着台积电7nm问世开始量产，3、这方面还是比较谨慎。2台，只是买了研究用，台积电、几家大厂也就是买一台研究用，

High NA EUV光刻机的爆发要到2029年，但他们此前的表态显示对High EUV光刻机非常保守，

这个趋势会一直持续到2030年左右，再加上SK海力士的3台，ASML这两年就开始推High NA EUV光刻机，三星有2台，再加上内存芯片爆发的29台，5nm及以下工艺越来越离不开EUV光刻机了，2020年才超过30台，NA提升到了0.55，随着先进工艺的需求快速增长，直到2029年的A12工艺时也没计划使用这种光刻机，三星及Intel预计会分别购买5、台积电的用量达到了38台，内存芯片的需求也上了一个台阶，存储芯片的用量快要追上逻辑工艺需求了。

EUV光刻机全球只有荷兰ASML公司能供应，